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硅烷化作用是指將硅烷基引入到分子中，一般是取代活性氫（如：羥基hydroxyl, 羧基carboxylic acid, 胺amine, 硫醇thiol, 磷酸鹽phosphate）。活性氫被硅烷基取代后降低了化合物的極性，減少了氫鍵束縛。因此所形成的硅烷化衍生物更容易揮發(fā)。同時(shí)，由于含活性氫的反應(yīng)位點(diǎn)數(shù)目減少，化合物的穩(wěn)定性也得以加強(qiáng)。硅烷化化合物極性減弱，被測(cè)能力增強(qiáng)，熱穩(wěn)定性提高。

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